Sama sa nahibal-an namong tanan, adunay daghang mga detalye sa mga target sa sputtering, ug ang ilang mga natad sa aplikasyon lapad usab.Ang mga tipo sa mga target nga sagad gigamit sa lainlaing mga natad lainlain usab.Karon, atong tun-an ang bahin sa klasipikasyon sa sputtering target nga mga natad sa aplikasyon sa editor sa RSM!
1, Kahulugan sa sputtering target
Ang sputtering usa sa mga nag-unang teknolohiya sa pag-andam sa nipis nga mga materyales sa pelikula.Gigamit niini ang mga ion nga gihimo sa gigikanan sa ion aron mapadali ug magtigum sa haw-ang aron maporma ang usa ka high-speed ion beam, bombahan ang solid nga nawong, ug ang mga ion nagbaylo sa kinetic energy sa mga atomo sa solid nga nawong, aron ang mga atomo sa solido. nawong gibulag gikan sa solid ug gibutang sa ibabaw sa substrate.Ang gibombahan nga solid mao ang hilaw nga materyales alang sa pag-andam sa nipis nga pelikula nga gideposito pinaagi sa sputtering, nga gitawag nga sputtering target.
2, Klasipikasyon sa sputtering target nga mga natad sa aplikasyon
1. Target sa semiconductor
(1) Komon nga mga target: kasagaran nga mga target niini nga natad naglakip sa taas nga pagtunaw nga mga metal sama sa tantalum / copper / titanium / aluminum / gold / nickel.
(2) Paggamit: nag-una nga gigamit ingon nga yawe nga hilaw nga materyales alang sa integrated circuits.
(3) Mga kinahanglanon sa pasundayag: taas nga teknikal nga kinahanglanon alang sa kaputli, gidak-on, panagsama, ug uban pa.
2. Target para sa flat panel display
(1) Kasagaran nga mga target: kasagaran nga mga target sa kini nga uma naglakip sa aluminum / copper / molybdenum / nickel / Niobium / silicon / chromium, etc.
(2) Paggamit: kini nga matang sa target kasagarang gigamit alang sa nagkalain-laing matang sa dagkong lugar nga mga pelikula sama sa mga TV ug notebook.
(3) Mga kinahanglanon sa pasundayag: taas nga mga kinahanglanon alang sa kaputli, dako nga lugar, pagkaparehas, ug uban pa.
3. Target nga materyal para sa solar cell
(1) Kasagaran nga mga target: aluminum / copper / molybdenum / chromium / ITO / Ta ug uban pang mga target alang sa solar cells.
(2) Paggamit: nag-una nga gigamit sa "window layer", barrier layer, electrode ug conductive film.
(3) Mga kinahanglanon sa pasundayag: taas nga teknikal nga kinahanglanon ug halapad nga sakup sa aplikasyon.
4. Target alang sa pagtipig sa impormasyon
(1) Kasagaran nga mga target: komon nga mga target sa cobalt / nickel / ferroalloy / chromium / tellurium / selenium ug uban pang mga materyales alang sa pagtipig sa impormasyon.
(2) Paggamit: kini nga matang sa target nga materyal kay kasagarang gigamit alang sa magnetic head, tunga nga layer ug ubos nga layer sa optical drive ug optical disc.
(3) Mga kinahanglanon sa performance: gikinahanglan ang taas nga storage density ug taas nga transmission speed.
5. Target alang sa pag-usab sa himan
(1) Kasagaran nga mga target: komon nga mga target sama sa titanium / zirconium / chromium aluminum alloy nga giusab sa mga himan.
(2) Paggamit: kasagaran gigamit alang sa pagpalig-on sa nawong.
(3) Mga kinahanglanon sa pasundayag: taas nga mga kinahanglanon sa pasundayag ug taas nga kinabuhi sa serbisyo.
6. Mga target para sa mga electronic device
(1) Kasagaran nga mga target: kasagaran nga aluminum alloy / silicide nga mga target alang sa mga electronic device
(2) Katuyoan: kasagaran gigamit alang sa manipis nga film resistors ug capacitors.
(3) Mga kinahanglanon sa performance: gamay nga gidak-on, kalig-on, ubos nga pagbatok sa temperatura coefficient
Oras sa pag-post: Hul-27-2022