Sama sa nahibal-an namong tanan, ang pag-uswag nga uso sa target nga materyal nga teknolohiya suod nga may kalabutan sa pag-uswag nga uso sa teknolohiya sa pelikula sa industriya sa aplikasyon sa ubos.Sa pag-uswag sa teknolohiya sa mga produkto sa pelikula o mga sangkap sa industriya sa aplikasyon, ang target nga teknolohiya kinahanglan usab nga magbag-o.Pananglitan, ang mga tiggama sa Ic bag-o lang naka-focus sa pagpalambo sa ubos nga resistivity copper wiring, nga gilauman sa kamahinungdanon mopuli sa orihinal nga aluminum film sa sunod nga pipila ka tuig, mao nga ang pagpalambo sa tumbaga target ug sa ilang gikinahanglan barrier target mahimong dinalian.
Dugang pa, sa bag-ohay nga mga tuig, ang flat panel display (FPD) kadaghanan gipuli ang cathode-ray tube (CRT) -based computer display ug telebisyon nga merkado.Dugangan usab niini ang teknikal ug panginahanglan sa merkado alang sa mga target sa ITO.Ug unya naa ang teknolohiya sa pagtipig.Ang panginahanglan alang sa high-density, dako nga kapasidad nga mga hard drive ug high-density nga mapapas nga mga disc nagpadayon sa pagdugang.Ang tanan nga kini nagdala sa mga pagbag-o sa panginahanglan alang sa mga target nga materyales sa industriya sa aplikasyon.Sa mosunod, atong ipaila ang mga nag-unang natad sa aplikasyon sa target ug ang uso sa pag-uswag sa target niini nga mga natad.
1. Microelectronics
Sa tanan nga industriya sa aplikasyon, ang industriya sa semiconductor adunay labing higpit nga mga kinahanglanon sa kalidad alang sa target nga sputtering nga mga pelikula.Ang mga silicone wafer nga 12 pulgada (300 epistaxis) nahimo na karon.Ang gilapdon sa interconnect nagkunhod.Ang mga kinahanglanon sa mga tiggama sa silicon wafer alang sa target nga mga materyales mao ang dako nga sukdanan, taas nga kaputli, ubos nga paglainlain ug maayo nga lugas, nga nagkinahanglan sa mga target nga materyales nga adunay mas maayo nga microstructure.Ang kristal nga diyametro sa partikulo ug pagkaparehas sa target nga materyal giisip nga hinungdanon nga mga hinungdan nga nakaapekto sa rate sa pagdeposito sa pelikula.
Kung itandi sa aluminum, ang tumbaga adunay mas taas nga electromobility nga pagsukol ug ubos nga resistivity, nga makatagbo sa mga kinahanglanon sa konduktor nga teknolohiya sa submicron nga mga kable sa ubos sa 0.25um, apan kini nagdala sa ubang mga problema: ubos nga adhesion nga kalig-on tali sa tumbaga ug organic medium nga mga materyales.Dugang pa, kini dali nga reaksyon, nga mosangpot sa pagkadunot sa copper interconnect ug ang pagkaguba sa circuit sa panahon sa paggamit sa chip.Aron masulbad kini nga problema, usa ka babag nga layer kinahanglan nga ibutang taliwala sa tumbaga ug sa dielectric nga layer.
Ang target nga materyales nga gigamit sa barrier layer sa copper interconnection naglakip sa Ta, W, TaSi, WSi, ug uban pa. Apan ang Ta ug W mga refractory metal.Lisud kini paghimo, ug ang mga haluang metal sama sa molybdenum ug chromium gitun-an isip alternatibong mga materyales.
2. Alang sa display
Ang flat panel display (FPD) dako kaayog epekto sa cathode-ray tube (CRT) -based computer monitor ug television market sulod sa mga katuigan, ug magduso usab sa teknolohiya ug panginahanglan sa merkado alang sa ITO target nga mga materyales.Adunay duha ka matang sa mga target sa ITO karon.Ang usa mao ang paggamit sa nanometer nga estado sa indium oxide ug tin oxide powder human sa sintering, ang lain mao ang paggamit sa indium tin alloy nga target.Ang ITO nga pelikula mahimo nga hinimo sa DC reactive sputtering sa indium-tin alloy nga target, apan ang target nga nawong mag-oxidize ug makaapekto sa sputtering rate, ug lisud ang pagkuha sa dako nga gidak-on nga target sa alloy.
Karong panahona, ang una nga pamaagi sa kasagaran gisagop sa paghimo sa ITO target nga materyal, nga mao ang sputtering coating pinaagi sa magnetron sputtering reaction.Kini adunay paspas nga deposition rate.Ang gibag-on sa pelikula mahimong tukma nga makontrol, ang conductivity taas, ang pagkamakanunayon sa pelikula maayo, ug ang adhesion sa substrate lig-on.Apan ang target nga materyal mao ang lisud nga sa paghimo, tungod kay ang indium oxide ug tin oxide dili dali sintered sa tingub.Kasagaran, ang ZrO2, Bi2O3 ug CeO gipili ingon sintering additives, ug ang target nga materyal nga adunay Densidad nga 93% ~ 98% sa theoretical nga kantidad mahimong makuha.Ang pasundayag sa pelikula sa ITO nga naporma niining paagiha adunay maayong relasyon sa mga additives.
Ang blocking resistivity sa ITO film nga nakuha pinaagi sa paggamit sa maong target nga materyal moabot sa 8.1×10n-cm, nga duol sa resistivity sa pure ITO film.Ang gidak-on sa FPD ug conductive nga bildo dako kaayo, ug ang gilapdon sa conductive nga bildo mahimo pa gani nga moabot sa 3133mm.Aron mapauswag ang paggamit sa mga target nga materyales, ang ITO target nga mga materyales nga adunay lainlaing mga porma, sama sa cylindrical nga porma, gipalambo.Sa 2000, ang National Development Planning Commission ug ang Ministry of Science and Technology naglakip sa ITO nga dagkong mga target sa Guidelines for Key Areas of Information Industry nga Sa pagkakaron Priyoridad para sa Development.
3. Paggamit sa pagtipig
Sa mga termino sa teknolohiya sa pagtipig, ang pag-uswag sa mga high-density ug dako nga kapasidad nga mga hard disk nanginahanglan usa ka dako nga gidaghanon sa higanteng mga materyales sa pelikula nga dili gusto.Ang CoF~Cu multilayer composite film kay kaylap nga gigamit nga istruktura sa giant reluctance film.Ang TbFeCo alloy target nga materyal nga gikinahanglan alang sa magnetic disc anaa pa sa dugang nga kalamboan.Ang magnetic disc nga gigama sa TbFeCo adunay mga kinaiya sa dako nga kapasidad sa pagtipig, taas nga serbisyo sa kinabuhi ug balik-balik nga dili makontak nga pagkawagtang.
Ang antimony germanium telluride based phase change memory (PCM) nagpakita sa mahinungdanong potensyal sa komersyo, nahimong bahin sa NOR flash memory ug ang DRAM nga merkado usa ka alternatibo nga teknolohiya sa pagtipig, bisan pa, sa pagpatuman nga mas paspas nga gipaubos ang usa sa mga hagit sa dalan nga anaa mao ang kakulang sa pag-reset ang kasamtangan nga produksyon mahimong ipaubos sa dugang nga hingpit nga selyado nga yunit.Ang pagkunhod sa karon nga pag-reset makapamenos sa konsumo sa kuryente sa memorya, nagpalugway sa kinabuhi sa baterya, ug nagpauswag sa bandwidth sa datos, ang tanan nga hinungdanon nga mga bahin sa karon nga sentro sa datos, labi ka madaladala nga aparato sa mga konsumedor.
Oras sa pag-post: Ago-09-2022