Ang manipis nga pelikula sa adunay sapaw nga target usa ka espesyal nga porma sa materyal.Sa piho nga direksyon sa gibag-on, ang sukdanan gamay ra kaayo, nga usa ka microscopic nga masukod nga gidaghanon.Dugang pa, tungod sa hitsura ug interface sa gibag-on sa pelikula, ang pagpadayon sa materyal natapos, nga naghimo sa datos sa pelikula ug target nga datos nga adunay lainlaing komon nga mga kabtangan.Ug ang target mao ang panguna nga paggamit sa magnetron sputtering coating, ang editor sa Beijing Richmat magdala kanato aron masabtan. ang prinsipyo ug kahanas sa sputtering coating.
一, Prinsipyo sa sputtering coating
Ang kahanas sa sputtering coating mao ang paggamit sa ion shelling target nga hitsura, ang target nga mga atomo naigo sa panghitabo nga nailhan nga sputtering.Ang mga atomo nga gideposito sa ibabaw sa substrate gitawag nga sputtering coating. Sa kinatibuk-an, ang gas ionization gihimo pinaagi sa pag-discharge sa gas, ug ang mga positibo nga ion nagbomba sa target sa cathode sa taas nga tulin ubos sa aksyon sa electric field, nga nagpatay sa mga atomo o molekula sa cathode target, ug molupad sa ibabaw sa substrate nga ideposito ngadto sa usa ka film.Simply sa pagsulti, sputtering sapaw naggamit ubos nga pressure inert gas glow discharge sa pagmugna ions.
Kasagaran, ang sputtering film plating equipment adunay duha ka electrodes sa usa ka vacuum discharge chamber, ug ang cathode target gilangkuban sa coating data.Ang vacuum chamber napuno sa argon gas nga adunay pressure nga 0.1 ~ 10Pa.Glow discharge mahitabo sa cathode sa ilalum sa aksyon sa negatibo nga hatag-as nga boltahe sa 1~3kV dc o rf boltahe sa 13.56mhz.Argon ions bombard sa target nawong ug sa hinungdan sa sputtered target atoms sa tapok sa substrate.
二, Mga kinaiya sa kahanas sa sputtering coating
1, paspas nga stacking speed
Ang kalainan tali sa high speed magnetron sputtering electrode ug sa tradisyonal nga duha ka yugto sputtering electrode mao nga ang magnet gihan-ay sa ubos sa target, mao nga ang sirado uneven magnetic field mahitabo sa nawong sa target. sa heterogeneous magnetic field.Tungod sa epekto sa pag-focus, ang mga electron dili kaayo makaikyas.Ang heterogeneous magnetic field moadto sa palibot sa target nga nawong, ug ang secondary electron nadakpan sa heterogeneous magnetic field makabangga sa mga molekula sa gas balik-balik nga, nga improb ang taas nga rate sa pagkakabig sa mga molekula sa gas.Busa, ang high speed magnetron sputtering-ut-ut ubos nga gahum, apan makakuha og usa ka dako nga coating efficiency, uban sa sulundon nga discharge nga mga kinaiya.
2, Ang temperatura sa substrate ubos
Ang high speed magnetron sputtering, nailhan usab nga low temperature sputtering.Ang hinungdan mao nga ang aparato naggamit mga discharge sa usa ka wanang sa mga electromagnetic nga natad nga diretso sa usag usa.Ang ikaduha nga mga electron nga mahitabo sa gawas sa target, sa usag usa.Ubos sa aksyon sa usa ka tul-id nga electromagnetic field, kini gigapos duol sa target sa nawong ug nagalihok ubay sa runway sa usa ka lingin nga rolling linya, balik-balik nga nanuktok batok sa mga molekula sa gas aron sa pag-ionize sa mga molekula sa gas. balik-balik nga mga bumps, hangtud nga ang ilang kusog hapit hingpit nga mawala sa dili pa sila makalingkawas gikan sa nawong sa target duol sa substrate.Tungod kay ang kusog sa mga electron ubos kaayo, ang temperatura sa target dili mosaka nga taas kaayo.Igo na kana aron masumpo ang pagtaas sa temperatura sa substrate tungod sa taas nga kusog nga pagpamomba sa elektron sa usa ka ordinaryong diode shot, nga nagkompleto sa cryogenization.
3, Usa ka halapad nga mga istruktura sa lamad
Ang istruktura sa nipis nga mga pelikula nga nakuha pinaagi sa vacuum evaporation ug pag-injection deposition lahi ra sa nakuha pinaagi sa thinning bulk solids.Sukwahi sa kasagaran nga naglungtad nga mga solido, nga giklasipikar nga parehas nga istruktura sa tulo ka dimensyon, ang mga pelikula nga gideposito sa yugto sa gas giklasipikar nga mga heterogenous nga istruktura.Ang kolumnar nga pagtubo sa pelikula tungod sa orihinal nga convex nga nawong sa substrate ug pipila ka mga anino sa mga prominenteng bahin sa substrate.Bisan pa, ang porma ug gidak-on sa kolum lahi kaayo tungod sa temperatura sa substrate, ang pagkatibulaag sa nawong sa mga stacked atoms, ang paglubong sa mga atomo sa kahugawan ug ang insidente Anggulo sa mga atomo sa insidente nga may kalabotan sa nawong sa substrate.Sa sobra nga temperatura, ang nipis nga pelikula adunay usa ka fibrous nga istruktura, taas nga density, nga gilangkuban sa maayong mga kristal nga kolumnar, nga mao ang talagsaon nga istruktura sa sputtering film.
Ang sputtering pressure ug film stacking speed makaapekto usab sa istruktura sa pelikula.Tungod kay ang mga molekula sa gas adunay epekto sa pagsumpo sa pagkatibulaag sa mga atomo sa ibabaw sa substrate, ang epekto sa taas nga sputtering pressure angay alang sa pag-ubos sa temperatura sa substrate sa modelo.Busa, ang porous nga mga pelikula nga adunay maayong mga lugas mahimong makuha sa taas nga sputtering pressure.Kining gamay nga grain size nga pelikula angay alang sa lubrication, wear resistance, surface hardening ug uban pang mekanikal nga aplikasyon.
4, Paghan-ay sa komposisyon nga parehas
Ang mga compound, mixtures, alloys, ug uban pa, nga haom nga lisud nga matabonan pinaagi sa vacuum evaporation tungod kay ang alisngaw nga presyur sa mga sangkap lainlain o tungod kay kini magkalahi sa dihang gipainit.Sputtering coating nga pamaagi mao ang paghimo sa target nga nawong nga layer sa mga atomo nga layer sa layer sa substrate, sa niini nga diwa mao ang usa ka mas hingpit nga mga kahanas sa paghimo sa pelikula.Ang tanan nga mga matang sa mga materyales mahimong gamiton sa industriyal nga coating production pinaagi sa sputtering.
Oras sa pag-post: Abr-29-2022